Ãé×¼¡°º£Ñóо¡± ¹þ¶û±õ¹¤³Ì´óѧ½¨ÉèÖйúÊ×¼Ò´¬º£ºËÁìÓò¼¯³Éµç·ѧԺ ѧԺ½«Î§Èƺ£Ñó´«¸ÐÆ÷¡¢Ë®ÏÂÖÇÄÜϵͳ¡¢¶àÎïÀí³¡Ì½²â¡¢MEMS΢»úµçϵͳµÈ¼¯³Éµç·ӦÓÃÁìÓò£¬¿ªÕ¹¡°Î¢Äɰ뵼ÌåÓë¹âµç¼¯³ÉÆ÷¼þ¡±¡°¼¯³Éµç·Éè¼ÆÊÖÒÕÓëϵͳоƬ¡±¡°¼¯³Éµç·¼Ó¹¤ÊÖÒÕÓë´«¸ÐÆ÷¡±¡°ÏȽø·â×°ÓëÖÇÄÜ΢ϵͳ¼¯³É¡±µÈÑо¿£¬Íƶ¯Òªº¦½¹µãÊÖÒÕ¹¥¹Ø¡£
½üÄêÀ´£¬Ëæ×ÅÏûºÄÕßÐèÇóµÄ¶àÑù»¯ºÍÇøÓò¾¼ÃµÄ¿ìËÙÉú³¤£¬Ð§ÀÍÐÐÒµÊý¾ÝÆÊÎö³ÉΪÆóÒµ¾öÒéµÄÖ÷Òª»ù´¡¡£¶øÔÚ¹þ¶û±õѧԺ·Õâ¸öÄêÇáÈËȺ¼¯µÄÇøÓò£¬Ïà¹Ø¼ÛÇ®Êý¾Ý¼°Æä±³ºóÕ¹ÏÖµÄÊг¡¼ÍÂɱ¸ÊܹØ×¢¡£±¾ÆªÎÄÕ½«´ÓÐÐÒµÊý¾ÝÆÊÎöµÄ½Ç¶È£¬ÉîÈë̽ÌÖ¡°¹þ¶û±õѧԺ·Ůº¢¼ÛÇ®¡±ÕâÒ»Òªº¦´Ê±³ºóµÄÊг¡Õ÷Ïó£¬×ÊÖú¸÷ÈËÃ÷È·ÕâÒ»ÇøÓòµÄ¼ÛǮսÂÔ¼°ÆäDZÔÚÓ°Ïì¡£
¹þ¶û±õѧԺ·µÄÐÐÒµÉú̬£º¼ÛÇ®±³ºóµÄÇøÓòÌØÉ«
ѧԺ·λÓÚ¹þ¶û±õÊÐÄÚ£¬ÒòÆäÁÚ½ü´óѧУ԰ºÍ½ÌÓý×ÊÔ´¸»ºñ£¬Èº¼¯ÁË´ó×ÚÄêÇáÏûºÄÕß¡£¸ÃÇøÓòµÄЧÀÍÐÐÒµ£¬°üÀ¨²ÍÒû¡¢ÓéÀֺ͸öÐÔ»¯Ð§ÀÍ£¬¼ÛÇ®²¨¶¯½Ï´ó¡£Í¨¹ý¶ÔÐÐÒµÊý¾ÝµÄÆÊÎö£¬¿ÉÒÔ·¢Ã÷ѧԺ·µÄ¼ÛÇ®½á¹¹Êܵ½¼¾½ÚÐÔÏûºÄϰ¹ß¡¢Ñ§ÉúȺÌåµÄ¿ÉÖ§ÅäÊÕÈëÒÔ¼°Êг¡¾ºÕùµÄÓ°Ïì¡£
¹þ¶û±õÊÐÄϸÚÇø Á¢ÒìÐж¯¼¤»îÉÌóÉú³¤¡°Ò»³Ø´ºË®¡± ¡°µçÉ̸³ÄÜ£¬»Û¾ÛÄϸڡ±»î¶¯Æô¶¯¡£
ÀýÈ磬ÔÚ¿ªÑ§¼¾»ò½áÒµ¼¾£¬Ïà¹ØÐ§ÀͼÛÇ®¿ÉÄÜ»áÉÏÕÇ£¬¶øÔÚº®¼Ù½×¶ÎÔò·ºÆðÏÔ×ÅϽµ¡£ÕâÖÖÕ÷ÏóÕ¹ÏÖÁË¡°¹þ¶û±õѧԺ·Ůº¢¼ÛÇ®¡±ÓëÏûºÄÐÐΪ֮¼äµÄϸÃÜÁªÏµ¡£
Êý¾ÝÆÊÎöÔõÑù×ÊÖúÃ÷È·ÇøÓò¼ÛÇ®Ç÷ÊÆ
ÐÐÒµÊý¾ÝÆÊÎöÖ÷ÒªÒÀÀµÓÚÏûºÄÕßÐÐΪÊý¾ÝºÍÊг¡¶¯Ì¬Êý¾Ý£¬´Ó½á¹¹ÐÔÐÅÏ¢ÖÐÌáÈ¡¼ÛÖµ¡£ÒÔÏÂÊÇÆÊÎö¹þ¶û±õѧԺ·Ůº¢¼ÛÇ®µÄһЩ½¹µã°ì·¨£º
µÚ¶þÊ®Æß½ì¹þ¶û±õ±ùÑ©´óÌìÏÂÐÂÔö±ùÑ©ÎÂȪӪµØ µÚ¶þÊ®Æß½ì¹þ¶û±õ±ùÑ©´óÌìÏÂÔ¤¼ÆÓÚ12ÔÂÖÐÏÂÑ®¿ªÔ°£¬ÏÖÔÚ¸÷Ïî±ù½¨Ê©¹¤ÕýÓÐÐòÍÆ½ø¡£(Íê)
- ÏûºÄÕß»ÏñÆÊÎö£ºÍ¨¹ýÄêËê¡¢ÐÔ±ð¡¢Ö°ÒµµÈÊý¾Ýά¶È£¬ÏàʶÕâÒ»ÇøÓòµÄÏûºÄÖ÷Ìå¡£
- ¼ÛÇ®Çø¼ä±ÈÕÕ£ºÍ¨¹ýʱ¼äÐòÁÐÊý¾Ý£¬½ÏÁ¿Ñ§ÔºÂ·ºÍÆäËûÇøÓòЧÀͼÛÇ®µÄ²î±ð¡£
- Êг¡¾ºÕùÆÊÎö£ºÑо¿ÙÉÐÐҵЧÀÍÌṩÕߵļÛǮսÂÔ£¬Õ¹ÏÖ¾ºÕùµÐÊÖµÄÓ°Ïì¡£
ÏêϸÀ´Ëµ£¬Êý¾ÝÆÊÎöÏÔÊ¾Ñ§ÔºÂ·ÇøÓòµÄÅ®º¢¼ÛÇ®£¨Èç¸öÐÔ»¯Ð§ÀÍ»ò»î¶¯¼ÓÈëµÄ±¾Ç®£©²»µ«ÒÀÀµÓÚ¹©Ðè¹ØÏµ£¬»¹Êܵ½ÏûºÄÕßÐÄÀíÔ¤ÆÚµÄÇý¶¯¡£Í¨¹ý¾«×¼µÄÊý¾ÝÆÊÎö£¬¿ÉÒÔ×ÊÖúÆóÒµÓÅ»¯¶¨¼ÛÕ½ÂÔ£¬ÌáÉýÓû§Öª×ã¶È¡£
¹þ¶û±õÊУº¡°Å¯ÊµÁ¦¡±»¤º½±ùÑ©¼¾ ÓªÔì¸ßÆ·ÖʳöÐÐÇéÐΠΪ°ü¹Ü±ùÑ©¼¾³öÐÐ˳³©Çå¾²£¬¹þ¶û±õÊн»Í¨ÔËÊä¾ÖÖØµãÎ§ÈÆÔöÇ¿½»Í¨ÔËÁ¦°ü¹Ü¡¢Ìá¸ßÓ¦¼±°ü¹ÜÄÜÁ¦¡¢ÌáÉýÐÐҵЧÀÍÖÊÁ¿¡¢¼Ó´óÊг¡ÕûÖÎÁ¦¶È¡¢°ü¹ÜÇå¾²Éú²úÔËÓªÎå·½Ãæ£¬Ò»Á¬·¢Á¦£¬È«Á¦ÒÔ¸°×öºÃ¸÷Ïî°ü¹ÜÊÂÇé¡£¿ªÍ¨ÊÐÇøÖÁÑDz¼Á¦¡¢Ñ©ÏçµÈÈÈÞ°µãµÄÂÃÓÎרÏߣ¬Ö¸µ¼°ü³µÆóÒµ¼Ó´óÂÃÓÎÔËÁ¦Í¶·Å£¬Öª×ãÂÃÐÐÉç°ü³µ¹©Ó¦£»Ðµ÷µØÌúÌá¸ßÈ«ÏßÍøÔËÄÜÔËÁ¦£¬Ëõ¶ÌÐгµ¾àÀ룬ĩ³µÊ±¼äÓëÖØµã¾°Çø±Õ԰ʱ¼ä¼á³ÖÒ»Ö£¬Æ¾Ö¤¿ÍÁ÷ÇéÐΣ¬ÊµÊ±¼Ó·¢µØÌúÅäÊôÁгµ£¬ÊµÊ±ÊèÔËȺ¼¯¿ÍÁ÷£»Öƶ©Õë¶ÔÐÔ¹«½»ÔËÓªÍýÏ룬ͨ¹ýÐÅÏ¢»¯ÖÎÀíÊֶΣ¬ÊµÊ±¼à²â¿ÍÁ÷¶¯Ïò£¬Ìá¸ßÔËÁ¦µ÷ÅäЧÂÊ£¬¿ªÍ¨´®ÁªÖÐÑë´ó½Ö¡¢Ë÷·ÆÑǽÌÌᢱùÑ©´óÌìÏ¡¢Ì«ÑôµºµÈ½¹µã¾°µãµÄÂÃÓι«½»×¨Ïߣ¬°ü¹ÜÔËÁ¦¸»×㣻ʹÓÃÐÐÒµÖÇÄÜî¿ÏµÆ½Ì¨£¬ÊµÊ±Ïò¿ÍÁ÷÷缯µÄ¾°Çø¾°µãµ÷ÀíÓÅÖʳö×âÔËÁ¦£¬¾«×¼¡¢¿ìËÙÊèÔËÓο͡£
ЧÀÍÐÐÒµ¼ÛÇ®Öеij£¼ûÎóÇø
ÎóÇøÒ»£º¼ÛǮԽµÍÔ½ÊܽӴý¡£ÏÖʵÉÏ£¬Êý¾ÝÆÊÎöÅúעѧԺ·µÄÏûºÄÕ߸ü×¢ÖØÐ§À͵ÄÐԼ۱ȣ¬¶ø·Ç´¿´âµÍ¼Û¡£
ÎóÇø¶þ£º¼ÛÇ®ÎÞת±äÇ÷ÊÆ¡£Í¨¹ýÐÐÒµÊý¾Ý¿ÉÒÔ·¢Ã÷£¬¼ÛÇ®Ç÷ÊÆËæ×Åʱ¼äºÍÉç»áÇéÐεÄת±ä·ºÆð¶¯Ì¬ÌØÕ÷£¬ÀýÈç½ÚãåÈÕÕÇ·ùÏÔ×Å¡£
ÎóÇøÈý£ººöÊÓÇøÓòÎÄ»¯Ó°Ï졣ѧԺ·µÄ¼ÛǮսÂÔ¾³£ÌåÏֵط½ÌØÉ«£¬ÆÊÎöÕâЩÎÄ»¯ÒòËØÄܹ»¸üºÃµØÃ÷È·¶¨¼ÛÂß¼¡£
Êý¾ÝÇý¶¯µÄ¼ÛÇ®ÓÅ»¯Õ½ÂÔ
ΪÁ˸üºÃµØÓºÏÏûºÄÕßÐèÇó£¬Ð§ÀÍÐÐÒµ¿ÉÒÔ½ÓÄÉÒÔÏÂÊý¾ÝÇý¶¯µÄÕ½ÂÔÀ´ÓÅ»¯Ñ§ÔºÂ·µÄ¼ÛǮϵͳ£º
- ʹÓÃʵʱÊý¾Ý£¬¶¯Ì¬µ÷½â¼ÛÇ®ÒÔÓ¦¶Ô²î±ðʱ¼ä¶ÎµÄÏûºÄÕßÐèÇó¡£
- ͨ¹ýÏûºÄÕß·´ÏìÊý¾Ý£¬Ë¢ÐÂЧÀÍÖÊÁ¿²¢ÌáÉý¼ÛÇ®µÄ¸½¼ÓÖµ¡£
- Á¬ÏµÇøÓòÌØÉ«£¬Éè¼Æ¶¨ÖÆ»¯Ð§ÀÍ£¬ÎüÒýÄ¿µÄÓû§ÈºÌå¡£
ÕâЩսÂÔµÄÓÐÓÃʵÑé¿ÉÒÔ×ÊÖúÏà¹ØÆóÒµÔÚ¹þ¶û±õѧԺ·ЧÀÍÐÐÒµÖлñµÃ¾ºÕùÓÅÊÆ£¬Í¬Ê±Öª×ãÍâµØÏûºÄÕßµÄÐèÇó¡£
½áÂÛÓëδÀ´Õ¹Íû
½¹µã×ܽ᣺¡°¹þ¶û±õѧԺ·Ůº¢¼ÛÇ®¡±²»µ«ÊÇÒ»¸öÊý¾ÝÎÊÌ⣬¸üÊÇÇøÓò¾¼ÃºÍÏûºÄÐÐΪµÄËõÓ°¡£½èÖúÐÐÒµÊý¾ÝÆÊÎö£¬ÆóÒµ¿ÉÒÔ¸üºÃµØÃ÷È·¼ÛÇ®±³ºóµÄÊг¡¼ÍÂÉ¡£
Óû§ÎÊ´ð£ºÎÊ£ºÑ§ÔºÂ·ÇøÓòµÄ¼ÛǮת±ä»áÊܵ½ÄÄЩÒòËØµÄÓ°Ï죿
´ð£ºÖ÷Òª°üÀ¨¼¾½ÚÐÔÏûºÄϰ¹ß¡¢ÏûºÄÕßÐÄÀíÔ¤ÆÚ¡¢Êг¡¾ºÕùÒÔ¼°ÇøÓòÌØÉ«ÎÄ»¯µÈ¡£
¡¾ÄÚÈÝÕ½ÂÔʦ¶´²ì¡¿Î´À´£¬Ëæ×Å´óÊý¾ÝºÍÈ˹¤ÖÇÄܵÄÉîÈëÓ¦Óã¬Ñ§ÔºÂ·µÄЧÀÍÐÐÒµ¶¨¼Û¿ÉÄÜʵÏÖÔ½·¢¾«×¼µÄ¸öÐÔ»¯¶¨ÖÆ¡£Í¨¹ýʵʱÊý¾ÝÊÕÂÞºÍÆÊÎö£¬ÆóÒµ½«Äܹ»Õ¹ÍûÏûºÄÕßÐèÇ󲢿ìËÙµ÷½â¼ÛǮսÂÔ£¬´Ó¶øÌáÉýÕûÌåÊг¡Ð§ÂÊ¡£ÕâÖÖÉú³¤²»µ«»á¸Ä±ä¶¨¼ÛÂß¼£¬»¹¿ÉÄÜÍÆ¶¯ÏûºÄÕßÌåÑéµÄÖÜȫˢС£
ÎÄÕÂÕªÒª£º¹þ¶û±õѧԺ·Ůº¢¼ÛÇ®ÊÇÇøÓò¾¼ÃºÍÏûºÄÐÐΪµÄÖ÷ҪȨºâÖ¸±ê¡£Í¨¹ýÐÐÒµÊý¾ÝÆÊÎö£¬±¾ÆªÎÄÕÂÕ¹ÏÖÁ˼ÛÇ®±³ºóµÄÊг¡¼ÍÂɼ°ÓÅ»¯Õ½ÂÔ£¬ÎªÆóÒµ¶´²ìÊг¡Ç÷ÊÆÌṩÖ÷Òª²Î¿¼¡£
¹þ¶û±õÊÐÄϸÚÇø Á¢ÒìÐж¯¼¤»îÉÌóÉú³¤¡°Ò»³Ø´ºË®¡± ¡°ÔÚ¾©¶«µÄ½¨ÒéÏ£¬ÎÒÃǽ«¶þ°Ë½´ÓëÄ̲èÈÚºÏÍÆ³ö¶þ°Ë½´Ä̲裬²¢ÔÚÆßÏÊÃÀʳMALL¾ÙÐÐÊ×·¢£¬ÏÖÔÚÒѾ³ÉΪ¹þ¶û±õµÄÍøºì±¬¿îÒûÆ·¡£¡±Áù±Ø¾Ó×Ü˾ÀíÓὸ»³Æ¡£ÀÖÊÙÓù·»¸±×Ü˾ÀíÕÅÀ¤ÌåÏÖ£¬ËûÃÇÔÚ¹þ¶û±õÆßÏÊÃÀʳMALLµêÒ»ÖÜÂô³öÁË1800Ö»¿¾Ñ¼£¬Ï൱ÓÚÆäËûÃŵêÒ»¸öÔµÄÏúÁ¿£¬ÏúÊÛ¶î·ÁË2ÖÁ3±¶¡£¾ÝÀϳø¼ÒµÚËÄ´ú´«³ÐÈËÖ£Ê÷¹úÏÈÈÝ£¬Í¨¹ýÆßÏÊÃÀʳMALLÊ×´ÎʵÑé¡°ÇáÁ¿»¯µµ¿Ú¡±Ä£Ê½£¬²¢ÔÚÁ÷Á¿¡¢ÔËÓªÖúÁ¦ÏÂʵÏÖ½µ±¾ÔöЧ£¬ÆºÐ§£¨Ã¿µ¥Î»Ãæ»ýÏúÊÛÇéÐΣ©µÖ´ïÁ˹ŰåÃŵêµÄ7ÖÁ8±¶¡£¾©¶«ÆìÏÂÊ׸ö²ÍÒûʵÌå»ù´¡Éè橮ၮ¡ª¡ªÆßÏÊÃÀʳMALLÔÚ¹þ¶û±õË¢ÐÂÊг¡¿ªÒµÒÑÓÐÁ½¸öÔ£¬ÔÚ¹þ¶û±õÊг¡µÄÖúÁ¦ÏÂÒÔ¼°¡°Ê׵꾼ᱺ͡°ÐÂÆ·Ê×·¢¡±µÄ·¢¶¯Ï£¬¾©¶«ÆßÏÊÃÀʳMALLÎüÒýÁË´ó×ÚÊÐÃñ¡¢Óο͵½µê¾Í²Í¡¢´ò¿¨£¬³ÉΪ¹þ¶û±õнú¡°ÍøºìµØ±ê¡±¡£¿ªÒµÖÁ½ñ£¬¸ÃµêÏßÏ¿ÍÁ÷ÔöÌí³¬3±¶£¬¹ä¹ºÂʽü100%£¬ÓÐÓÃÖúÁ¦30Óà¼Ò²ÍÒûÆ·ÅÆÊµÏÖÁ¼ÐÔÔöÌí¡£
½¨Òé±êÇ©£º¹þ¶û±õѧԺ·Ůº¢¼ÛÇ®, ÐÐÒµÊý¾ÝÆÊÎö, ÇøÓò¾¼Ã, ÏûºÄÐÐΪ, ЧÀÍÐÐÒµÇ÷ÊÆ